Mô tả
명세서
다양한 용도에 사용할 수 있는 10개의 본체
대형 스트로크 스테이지용(최대, 300mm x 200mm x 200mm)
MM-800/LM: 전동 Z축
MM-800/L: 내장 Z 리니어 스케일
MM-800: 2축 측정 모델
MM-800/S: 타사 DRO용
MM-800/SL: Z 선형 스케일이 내장된 타사 DRO용
작은 스트로크 스테이지용(최대, 150mm x 100mm x 150mm)
MM-400/LM: 전동 Z축
MM-400/L: 내장 Z 리니어 스케일
MM-400: 2축 측정 모델
MM-400/S: 타사 DRO용
MM-400/SL: Z 선형 스케일이 내장된 타사 DRO용
측정 현미경 기능
MM-400/800 시리즈
300mm x 200mm 스테이지
추가된 본체 강도는 PS12x8C 스테이지와 같은 더 큰 스테이지를 사용할 수 있게 하여 더 큰 작업물을 허용합니다.
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MM 컨트롤러 백팩 인터페이스
조명, X/Y 스테이지 및 Z 데이터를 MM 컨트롤러에 연결할 수 있습니다.
데이터용 E-Max 소프트웨어를 실행하는 외부 컴퓨터에 대한 인터페이스로 사용
처리 및 시스템 제어
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전동 Z축 및 현미경 관찰 모드 전환
범용 Epi-Illuminator가 있는 고배율 현미경 모델
이 “범용” 모델은 고해상도 이미징 및 중요한 측정을 위해 측정 스탠드와 Nikon의 최고의 금속 현미경 구성 요소를 결합합니다. 명시야, 암시야, DIC 대비, 편광 및 에피 형광을 포함한 모든 범위의 Nikon 고급 LU 대물렌즈 및 현미경 기술을 제공합니다. 노즈피스에는 최대 5개의 대물렌즈를 장착할 수 있습니다. 또한, 현미경의 중요한 컨트롤 – 예. Z축 이동, 초점 및 조명 전환은 자동화되거나 자동화되어 디지털 이미지 캡처, 디지털 시야 측정 및 데이터 저장과 같은 이미징 작업을 간소화합니다.
애플리케이션
반도체 패키지, 본딩 배치, 루프 높이, FPD 패널(LCM) MEMS, 웨이퍼 레벨 CSP, HDD 슬라이더